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中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准
化学指标单位:μg/L
指标级别
一级
二级
三级
四级
在线电阻率 MΩ,cm(25℃)
18以上,(95%时间)不低于17
15,(95%时间)不低于13
12.0
0.5
在线电导率 μS,cm(25℃)
0.055
0.066
0.083
2
全硅,最大值,μg/L
10
50
1000
>1μm微粒数,最大值,个/mL
0.1
5
500
细菌个数,最大值,个/mL
0.01
100
铜,最大值,μg/L
0.2
1
锌,最大值,μg/L
镍,最大值,μg/L
钠,最大值,μg/L
钾,最大值,μg/L
氯,最大值,μg/L
硝酸根,最大值,μg/L
磷酸根,最大值,μg/L
硫酸根,最大值,μg/L
总有机酸,最大值,μg/L
20
200